1樓:士多啤梨味的布丁
半導體酸鹼廢氣處理方法半導體行業酸鹼廢氣處理通常採用液體噴淋法,又稱化學洗滌法。因液體自身具有的溶解特性,可以更好地捕捉沉降,溶解去除汙染物,而達到大氣排放標準,故噴淋法是半導體行業酸鹼廢氣治理普遍採用的主要處理方法。
半導體有機廢氣處理方法半導體行業有機廢氣處理方法,通常先用沸石轉輪對vocs進行吸附濃縮之後,再用直接燃燒法進行銷燬,廢氣淨化率達到97%以上。
直接燃燒又稱為直接火焰燃燒,它是把vocs可燃組分直接燒掉,因此該方法適用於淨化可燃有害組分濃度較高的廢氣,或者淨化有害組分燃燒時熱值較高的廢氣;多種可燃氣體或多種溶劑蒸氣混合在廢氣中,只要濃度值適宜,也可以直接燃燒。如果可燃組分的濃度高於燃燒上限,可以混入空氣後燃燒;如果可燃組分的濃度低於燃燒下限,則可以加入一定數量的輔助燃料如天然氣等,維持燃燒。
2樓:廣源環保
廢氣介紹:由於半導體工藝對操作室清潔度要求極高,通常使用風機抽取工藝過程中揮發的各類廢氣,因此半導體行業廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點。廢氣排放也以揮發為主。
這些廢氣主要可以分為四類:酸性廢氣、鹼性廢氣、有機廢氣和有毒廢氣。
廢氣危害:半導體制造工藝中產生的廢氣如果沒有經過很好的處理進行排放,將造成嚴重的問題,不僅影響人們的身體健康,惡化大氣環境,造成環境汙染的公害事件等,也會成為半導體制造中amc汙染的重要**。
處理方法:依據這些廢氣的特性,在處理上採用水洗、氧化/燃燒、吸附、解離、冷凝等方法,針對不同汙染物,可採取以下綜合處理方法:1.
一般排氣系統 2.酸性、鹼性廢氣處理系統 3.有機廢氣處理系統。
半導體廢氣處理?
3樓:深圳巨集森環保
隨著電子時代的崛起,電子產品給人們的生活以及日常的工作帶來了極大的便利,同時在加工的過程中產生大量的工業廢氣會給周邊的虛行盯環境帶來一定的空氣汙染,半導體電子工業產生的工業廢氣怎麼處理,用的是哪一種裝置?
半導體電子工業廢氣主要含有vocs有機廢氣、酸性排氣、鹼帶祥性排氣、有毒廢氣等,to直燃爐(催化燃燒裝置)、沸石轉輪吸附濃縮裝置、等離子水洗裝置和噴淋塔處理裝置是可以進行處理的,噴淋塔裝置為例:
噴淋塔廢氣處理裝置的技術原理是利用酸鹼中和原理,酸性(鹼性)廢氣與噴淋鹼液(酸液)中和反應,可以將工業氣體中的汙染物轉化為鹽類,處理之後的隨汙水再排入汙水的處理系統中。
噴淋塔的處理效率可以達到90%以上,經過噴淋處理後即差和可排放於大氣中。
對於酸洗製程、染料、製藥、化學工業、pcb製造業、lcd製造業、鋼鐵金屬工業、電子工業、半導體製造業、電鍍及金屬表面處理工業、除臭、儀表等工業排放出來的含有酸性/鹼性物質的廢氣是可以採用噴淋塔進行廢氣處理的。
其他的如to直燃爐(催化燃燒裝置)、沸石轉輪吸附濃縮裝置、等離子水洗裝置等的工業廢氣處理裝置具體可以處理哪些工業的廢氣。
半導體行業廢氣如何處理?
4樓:greenstar格林斯達
樓主您好,根據您提出的問題,下面為您做詳細解答:
半導體行業中使用的清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑中含有大量有機物成分,在工藝過程中,這些有機溶劑激棗大部分通過揮發成為廢氣排放。其廢氣的主體是vocs,同時廢氣中還混合了hcl、氨、hf等危險汙染物,分離和處理難度比較大。下面為您介紹半導體廢氣處理方法:
半導體酸廢氣處理方法半導體酸廢氣處理通常採用鹼液體噴淋法,又稱化學洗滌法。因液體自明兄拆身具有的溶解特性,可以更好地捕捉沉降,溶解去除塵搏汙染物,而達到大氣排放標準,故噴淋法是半導體行業酸鹼廢氣治理普遍採用的主要處理方法。
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半導體廢氣怎麼處理?半導體廢氣治理有哪些好辦法?
5樓:深圳巨集森環保
隨著科技不斷的創新,我國的電子裝置需求也在不斷的增加,因此電子半導體行業的汙水排放量也在不斷的增加,在水資源緊缺的情況下半導體行業的汙水應該怎麼處理呢?
半導體汙水分為三大類:含氟掘陸廢水、有機廢水和金屬離子廢水。
為了除去汙水中cod、氨氮、總氮等有機汙染物,一般會採用好氧法和缺氧厭氧法相結合的方法進行處理。
金屬離子汙水則是根據不同的金屬離子採用不同的方法,常見的方法有活性炭吸附法、化學沉降法、去離子交換法等。
對於含氟廢水,主要是往汙水中加入鈣鹽,鈣鹽可以跟水中氟離子形成caf2,再加上混凝劑輔助就可以去除汙水中的氟離子,這就是常說的化學沉降法。
因電子半導體行業的用水率高,所以為了降低用水成本、減少對環境的汙染,汙水回用對於電子半導體行業的經敗遲營者是極其重要的。
半導體汙水除了除了以上方法以察散李外,還可以對汙水進行電滲析、離子交換樹脂、吸附、冷凍等,在進行汙水處理期間還可以去除一些雜質以及特殊的氣味。
半導體工藝廢氣如何處理?
6樓:格林斯達環保集團
樓主您好,根據您提出的問題,下面為您做詳細解答:
半導體行業中使用的清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑中含有大量有機物成分,在工藝過程中,這些有機溶劑大部分通過揮發成為廢氣排放。其廢氣的主體是vocs,同時廢氣中還混合了hcl、氨、hf等危險汙染物。
半導腔扒體有機廢氣處理辦法採用rto裝置處理rto蓄熱式氧化爐是在高溫下將可燃廢氣氧化成氧化物和水,淨化廢氣,並**廢氣分解時所釋放出來的熱量,廢氣分解效率達到99%以上,熱**效率達到95%以上。
直接燃燒法處理有機廢氣鍵裂風管廢氣收集→沸石轉輪吸附濃縮→直燃爐伍亮昌(to)→煙囪排氣達標排放。
希望此次對您有所幫助!
7樓:籃球部落隊
rto蓄熱式氧化爐,簡稱「rto裝置」,是採用高溫破壞焚燒的廢氣治理技術。採用plc智慧型操控系統,能夠將裝置的處理資料資訊進行智慧型化系統監管,既能臘握槐夠反應裝置的操縱溫度及反應速度,還能夠與環保局進行物聯網聯結,即時提供廢氣的達標排放資料。裝置的主體由燃燒室、陶瓷填料床和轉換閥等構成。
原理是在高溫下將可燃廢氣氧化成氧化物和水,淨化廢氣,並**廢氣分解時所釋放出來的熱量。
目前,半導體廠廢氣處理方法一般採用吸附法、焚燒法或兩者結合的方法。吸附是利用多孔固體吸附劑對混合氣體進行處理,使其中的一種或多種組分能夠吸附在固體表面,達到分離的目的。該吸附劑選擇性高,能分離其它工藝難以分離的混合物,能有效去除(或**)低濃度有害物質,淨化效率高,裝置簡單,操作方便,可實現自動控制但固體吸附劑吸附容量小,需要大量吸附劑,裝置龐大,吸附後需要再生處理,這是吸附處理的主要缺點。
從半導體生產現場揮發出的有機廢氣經就地排氣罩收集後,經管道送至吸附淨化系統。一般用活性炭作吸附劑。由於活性炭是一種非極性吸附劑,其對廢氣中水汽的敏感性不高,**低廉。
焚燒法也廣泛應用於半導體工業的各種有機廢氣處皮悉理,有機物通過熱氧化轉化為二氧化碳和水。
同時,焚燒也是處理流量和濃度穩定的廢氣的好方法。在熱氧化過程中,有機廢氣被加熱,氣相有機物被氧化。為了節省燃料,通常採用換熱器**焚燒產生的熱量,對進口燃氣進行預熱。
這輪友種方法通常用於處理大流量、低濃度的氣體。由於半導體工業中的廢氣焚燒產生二氧化矽,二氧化矽鈍化催化劑,接觸氧化在半導體工業中應用較少。
8樓:黃健聰科技
隨著科技的發展,目前市場上新材料行業與傳統材料相比,其應用範圍更廣了,新材料產業的研究與開發投入高,產品的附加值高在生產與市場的國際性強,而且新材料半導體行業的發展前景好。而新材料半導體行業在加工的過程中採用清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑,這些溶劑中含有大量的有機物成分,在整個工藝加工的過程中將會有部分的有機溶劑大部分通過揮發成為廢氣排放,這部分揮發的廢氣主要成分為具有揮發性的vocs,下面講解一下關於:新材料半導體行業的廢氣應該怎麼處理。
#催化燃燒廢氣處理裝置#
新材料半導體行業的廢氣除了含有vocs以外瞎亮,還混有hcl、氨、hf等危險汙染物,伏嘉環境採用的是rto蓄熱式焚燒爐來處理半導體行業的廢氣:工業廢氣中主要含有酸性氣體、鹼性氣體、有機廢氣和有毒氣體四種,自身具有的溶解特性,半導體工業的氣體雖然排放量大,但是氣體的濃度低。
rto裝置採用的是高溫破壞焚燒的廢氣治理技術,公升溫能源一般是電和天然氣,其高溫需高巧神慎達700度或者以上,雖然溫度需高達700度左右,但是其實消耗的能源並不多,裝置執行期間部分的熱能是能夠**重新利用的,降低能量消耗的同時提高了廢氣分子的燃燒反應速率。
伏嘉環境半導體材料廢氣處理裝置的淨化孝敬效率可維持穩定在99%以上。
半導體工藝廢氣如何處理有效果?
9樓:冷靜還無私丶寶貝
目前,針對這種氣體排放,一 般採用吸附、焚燒或兩爛蘆肆者相結合的處理方法。 吸附是利用多譁大。因為半導體工藝過程中有飢轎機廢氣具有排放流量大。
10樓:忻謎趴購塵駛
半導體工藝廢氣最好是先檢測一下是否符合標準,然搏陪後再進行相應的處基模蠢理和排放,先找一下第三方檢測機構進行檢測,相對來說比較不錯的第三方檢測機構就是量化檢測了,這個第三方檢測機構是比較權威的,能對氣體做出合理的檢測,確定其符合排放標準後就能進行排放,這邊的檢測碼簡結果也更加全面,根據他們的檢測結果就能進行精確的治理。
半導體工藝廢氣如何高效處理?
11樓:來自飛水寨優雅的北極熊
半導體企業酸性或鹼性廢氣,格林斯達廢氣改散處理公司採用的廢氣治理工藝唯逗為:酸鹼中和處理法。
酸鹼廢氣治理工藝流程為:
風管廢氣收集酸性/鹼性廢氣洗滌塔化學洗滌耐腐蝕風指殲賣機引風煙囪排氣達標排放。
2、半導體企業有機廢氣治理工藝為:直接燃燒法。
有機廢氣治理工藝流程為:
有機廢氣風管廢氣收集沸石轉輪吸附濃縮直燃爐(to)煙囪排氣達標排放。
半導體工藝廢氣如何高效處理?
12樓:手機使用者
半導體的工藝廢氣想要高效處理也有辦法,處理之前先進行全面的檢測,然後對症下藥,我們企業就經常會有半導體工藝廢氣的產出,然後處理這些廢氣都是先找量化檢測鏈老這個機構進行檢測,看看廢氣是否達標,達標就可以進行排放,如果沒有達標也可以根據他們的檢測結果對櫻喚螞不達標項進行處理脊埋,然後就能進行排放,這家檢測機構相對來說還是比較權威的,他們的服務效率也很高。
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